金屬膜及介質(zhì)膜干法刻蝕系統(tǒng)項目已具備招標(biāo)條件。招標(biāo)項目資金已落實。中科信工程咨詢（北京） （招標(biāo)代理機構(gòu)）受中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所（招標(biāo)人）的委托，對該項目進行國際公開招標(biāo)采購。
1. 招標(biāo)范圍
1.1 貨物名稱：金屬膜及介質(zhì)膜干法刻蝕系統(tǒng)
1.2 招標(biāo)編號：0779-25400341A051
1.3項目概況：
本次金屬及介質(zhì)膜干法刻蝕系統(tǒng)設(shè)備招標(biāo)采購旨采滿足科研生產(chǎn)需求，其包含全自動綜合反應(yīng)離子刻蝕機1臺和金屬膜干法刻蝕機1臺，其中全自動綜合反應(yīng)離子刻蝕機包含SiO2工藝腔和LN工藝腔各1個，金屬膜干法刻蝕機包含金屬工藝腔1個、去膠工藝腔1個。更多指標(biāo)詳見第八章技術(shù)規(guī)格。
金屬及介質(zhì)膜干法刻蝕系統(tǒng)主要技術(shù)指標(biāo)如下：
SiO2工藝腔：刻蝕速率≥200nm/min（SiO2）；選擇比≥1.5(SiO2：PR)；側(cè)壁傾角≥80°（要求PR側(cè)壁傾角≥80°）；片內(nèi)均勻性≤3%；深寬比≥3:1（SiO2，2um線寬）；
LN工藝腔：刻蝕速率≥50nm/min；選擇比≥0.5(LN：PR)；側(cè)壁傾角≥75°（要求PR側(cè)壁傾角≥80°）；片內(nèi)均勻性≤5%；
金屬工藝腔：刻蝕速率≥400nm/min（Al）；選擇比≥2(Al：PR)；側(cè)壁傾角≥80°；片內(nèi)均勻性≤5%；
去膠腔：去膠速率≥500nm/min；片內(nèi)均勻性≤10%；片間均勻性≤3%；
1.4 數(shù)量：1套。
1.5 交貨期：合同簽訂后8個月內(nèi)到貨。
1.6 項目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。
2. 對投標(biāo)人的資格要求
2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力。
2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關(guān)系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。
2.3本項目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機構(gòu)
3. 招標(biāo)文件獲取
3.1 如有疑問，請致電中航工業(yè) 服務(wù)熱線400-890-0880。
3.2 招標(biāo)文件售價人民幣800元或112美元，售后款項不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標(biāo)文件費用，支付后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進入鏈接點擊消費記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動發(fā) 潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺，經(jīng)招標(biāo)人(代理機構(gòu))確認后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。
3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè) 注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見中航工業(yè) 相關(guān)說明）。
4.
未在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應(yīng)先點擊注冊。登錄成功后的在招標(biāo)會員區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明獲取招標(biāo)文件！
咨詢電話：010-51957458
手 機：18811547188
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來源：中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)
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編輯：365trade
