超高真空全自動常溫鍵合機項目已具備招標(biāo)條件，招標(biāo)項目資金已落實。中科信工程咨詢（北京） （招標(biāo)代理機構(gòu)）受中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所（招標(biāo)人）的委托，對該項目進行國際公開招標(biāo)采購。

1. 招標(biāo)范圍

1.1 貨物名稱：超高真空全自動常溫鍵合機

1.2 招標(biāo)編號：0779-25400341A049

1.3項目概況：

超高真空全自動常溫鍵合機用于量子傳感、硅光、MEMS等芯片的晶圓級密封封裝工藝，在超高真空環(huán)境中利用高速氬原子或離子轟擊晶圓，除去表面氧化膜及污染物，再施加一定壓力，使兩個表面在超高真空環(huán)境中緊密接觸，形成化學(xué)鍵，實現(xiàn)原子尺度上的牢固結(jié)合，在室溫下實現(xiàn)良好的鍵合，無需后續(xù)退火，消除熱膨脹系數(shù)不匹配造成的熱應(yīng)力問題；更多指標(biāo)詳見第八章技術(shù)規(guī)格。

關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)：

適用于6英寸晶圓，并可擴展至8英寸；

Mark鍵合對準(zhǔn)精度：≤±2μm；

鍵合模塊壓力：最大100kN；

更多技術(shù)指標(biāo)詳見第八章。

1.4 數(shù)量：1臺。

1.5 交貨期：合同簽訂生效后10個月內(nèi)交貨。

1.6 項目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。

2. 對投標(biāo)人的資格要求

2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力。

2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關(guān)系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。

2.3本項目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機構(gòu)

3. 招標(biāo)文件獲取

3.1 潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺，經(jīng)招標(biāo)人(代理機構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。

3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè)電子采購平臺注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見中航工業(yè)電子采購平臺相關(guān)說明）。

4.
未在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應(yīng)先點擊注冊。登錄成功后的在 招標(biāo)會員 區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明獲取招標(biāo)文件！
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來源：中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)
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招標(biāo)清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標(biāo)，具體要求及購買標(biāo)書操作流程按會員區(qū)招標(biāo)信息詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn)。
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